A Method for Recovering Silicon Powder and Silicon Carbide Powder from Cutting Waste Slurry
admin
2022-09-13
一种从切割废砂浆中回收硅粉和碳化硅粉的方法
A Method for Recovering Silicon Powder and Silicon Carbide Powder from Cutting Waste Slurry
技术编号
XN-135
提供单位
西安交通大学
技术大类
污染控制技术
联系人
姜志华
技术类型
大气污染物控制技术
电话
15959216015
邮箱
jiangzhihua@1681.com
适用范围
气象参数、大气污染等监测、污水处理、废气处理、固废处理
推荐单位
广西科易网科技有限公司
- 技术简要说明本发明公开了一种从单晶硅切割或磨削加工硅晶片产生的废砂浆中提取高纯硅粉和碳化硅粉的工艺方法,包括对废砂浆进行固液分离,通过有机溶剂去除废料中的悬浮剂和粘结剂,对固态砂料进行气体浮选,得到一定纯度的硅粉末,进一步对该硅粉末进行液体浮选和重力分选,再将分选出的硅粉进行酸洗,获得高纯度的硅粉。同时将重力分选得到的碳化硅-金属的混合粉末进行磁力分选,获得纯的碳化硅粉末。本发明方法可以有效地回收硅棒切割加工产生的废砂浆中的高纯硅,以及作为切割磨料的碳化硅微粉,回收效率高,是一种变废为宝,解决高纯度硅原料资源短缺问题的实用技术。
- Technical Brief DescriptionThe invention discloses a technique for extracting high-purity silicon powder and silicon carbide powder from waste slurry produced by cutting or grinding silicon wafers from monocrystalline silicon, comprising the steps of conducting solid-liquid separation of the waste slurry, removing the suspending agent and adhesive from the waste using organic solvents, conducting gas flotation for the solid slurry to obtain silicon powder of a certain purity, further conducting liquid flotation and gravity separation of the silicon powder, and then conducing acid washing of the separated silicon powder to obtain high-purity silicon powder. At the same time, magnetic separation is conducted for the mixed silicon carbide-metal powder obtained by gravity separation to obtain the pure silicon carbide powder. The method of the invention can effectively recover high-purity silicon from the waste slurry produced in the silicon rod cutting process, as well as fine silicon carbide powder used as cutting abrasive, with a high recycling efficiency. It is a practical technology for turning waste into wealth and solving the resource shortage of high-purity silicon raw materials.
- 技术提供方西安交通大学国家技术转移中心
- 技术主要指标信息一种从单晶硅切割或磨削加工硅晶片产生的废砂浆中提取高纯硅粉和碳化硅粉的工艺方法,包括对废砂浆进行固液分离,通过有机溶剂去除废料中的悬浮剂和粘结剂,对固态砂料进行气体浮选,得到一定纯度的硅粉末,进一步对该硅粉末进行液体浮选和重力分选,再将分选出的硅粉进行酸洗,获得高纯度的硅粉。同时将重力分选得到的碳化硅-金属的混合粉末进行磁力分选,获得纯的碳化硅粉末。本发明方法可以有效地回收硅棒切割加工产生的废砂浆中的高纯硅,以及作为切割磨料的碳化硅微粉,回收效率高,是一种变废为宝,解决高纯度硅原料资源短缺问题的实用技术。
- 商业应用情况无
- 希望在技术转移过程中得到的帮助/支持无
- 商业应用单位联系人/电话/邮箱无
- 设备投资无
- 年运行维护费用无
- 投资回收期无
- 附加效益无
- 综合效益无
- 障碍对技术转移影响等级无
- 提交日期无
- 技术成熟度完全转让
- 技术适用性与使用条件无
- 技术稳定性无
- 技术安全性无
- 技术转移推广障碍无
- 知识产权转让无