A Method for Recovering Polyethylene Glycol and Silicon Carbide from Silicon Wafer Cutting Waste Slu
admin
2022-09-13
一种硅晶圆线切割废砂浆中聚乙二醇和碳化硅的回收方法
A Method for Recovering Polyethylene Glycol and Silicon Carbide from Silicon Wafer Cutting Waste Slurry
技术编号
XN-132
提供单位
西安交通大学
技术大类
污染控制技术
联系人
姜志华
技术类型
大气污染物控制技术
电话
15959216012
邮箱
jiangzhihua@1678.com
适用范围
气象参数、大气污染等监测、污水处理、废气处理、固废处理
推荐单位
广西科易网科技有限公司
-
技术简要说明本发明涉及硅晶圆线切割领域,公开了一种硅晶圆线切割废砂浆中聚乙二醇和碳化硅回收利用的方法,它将单晶硅片加工工艺中的线切割废砂浆先添加降黏剂,进行固液分离得到悬浮液部分和固体颗粒部分。对于悬浮液部分添加助滤剂,然后板框压滤、微孔过滤、中空纤维超滤、离子交换,最后将悬浮液真空蒸馏,回收聚乙二醇。对于固体颗粒依次进行碱反应清洗、水洗塔水洗、离心分离、酸反应清洗、再次水洗塔水洗、离心分离、酸反应清洗、干燥和干法分级,最后得到可循环使用的碳化硅颗粒。
-
Technical Brief DescriptionThe invention relates to the field of silicon wafer cutting and discloses a method for recycling polyethylene glycol and silicon carbide from silicon wafer cutting waste slurry, wherein a viscosity-reducing agent is firstly added to the wire cutting waste slurry from the monocrystalline wafer processing process for solid-liquid separation to obtain the suspended liquid and the solid particles. For the suspension liquid, a filter aid is added, followed by plate-frame pressure filtration, microporous filtration, hollow fiber ultrafiltration and ion exchange. After that, the suspension liquid is vacuum distilled to recover the polyethylene glycol. For the solid particles, alkali-base reaction cleaning, bath tower washing, centrifugal separation, acid-base reaction cleaning, and a second bath tower washing, centrifugal separation and acid-base reaction cleaning, drying and dry classification are conducted in turn, to obtain recyclable silicon carbide particles.
-
技术提供方西安交通大学国家技术转移中心
-
技术主要指标信息一种硅晶圆线切割废砂浆中聚乙二醇和碳化硅回收利用的方法,它将单晶硅片加工工艺中的线切割废砂浆先添加降黏剂,进行固液分离得到悬浮液部分和固体颗粒部分。对于悬浮液部分添加助滤剂,然后板框压滤、微孔过滤、中空纤维超滤、离子交换,最后将悬浮液真空蒸馏,回收聚乙二醇。对于固体颗粒依次进行碱反应清洗、水洗塔水洗、离心分离、酸反应清洗、再次水洗塔水洗、离心分离、酸反应清洗、干燥和干法分级,最后得到可循环使用的碳化硅颗粒。
-
商业应用情况无
-
希望在技术转移过程中得到的帮助/支持无
-
商业应用单位联系人/电话/邮箱无
-
设备投资无
-
年运行维护费用无
-
投资回收期无
-
附加效益无
-
综合效益无
-
障碍对技术转移影响等级无
-
提交日期无
-
技术成熟度完全转让
-
技术适用性与使用条件无
-
技术稳定性无
-
技术安全性无
-
技术转移推广障碍无
-
知识产权转让无